精密洗净是一种高要求的清洗技术，用于去除产品表面的有机污染物、无机污染物、颗粒污染物以及氧化物等，以确保产品在使用中的性能和可靠性。广泛应用于半导体、电子显微镜、电子分光仪、电磁波等对真空环境要求极高的领域。

①去除有机污染物：机加工中切削油等

②去除无机污染物：金属粒子、重金属等

③去除颗粒污染物：金属粉、大气中的颗粒物

④去除氧化物：金属表面自然形成的不完善氧化物